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硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場景對厚度測量提出多樣化需求，催生出一系列精準(zhǔn)高效的測量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實際應(yīng)用場景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測量方法。一、接觸式測量：機械與壓電技...
厚度電阻率測試是一種用于測量材料電阻率的方法，它可以幫助工程師評估材料的質(zhì)量和可靠性。該測試通常通過將兩個探頭放在材料的表面上，然后測量它們之間的電阻來完成。厚度電阻率測試有以下幾個特點：1.非破壞性：與其他測試方法不同，它是一種非破壞性的測試方法。這意味著對于需要保留完整性、外觀或功能的材料，您可以快速檢查其電阻率而無需損壞樣品。因此，它是一種非常有用的測試方法，尤其適用于生產(chǎn)線上的大批量材料測試。2.精確性高：該測試可以提供非常準(zhǔn)確的結(jié)果。通過使用精密加工的探頭以及計算機...
１引言ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍｔｉｎｏｘｉｄｅ）又稱氧化銦錫，是一種銦錫金屬氧化物，因其具有光學(xué)透明性［１］、高導(dǎo)電性［２］、易加工性［３］及柔性潛力［４］等優(yōu)點，目前在光電檢測、生物芯片及微納器件等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，例如加工成熱光伏系統(tǒng)濾波器［５］、紅外輻射反射鏡涂層［６］、表面等離子體共振材料［７］等。在實際應(yīng)用中，ＩＴＯ通常需先加工成各種形狀的電極，但由于曝光精度低、刻蝕工藝參數(shù)難以控制等原因，ＩＴＯ電極特征尺寸無法進一步降低。目前將ＩＴＯ加工成電極的方法多種多樣，主要分...
主動減震臺是一種地震工程中常用的結(jié)構(gòu)控制技術(shù)，其主要作用是通過主動地對建筑物進行控制，以減小地震對建筑物的破壞，并保護人們的生命財產(chǎn)安全。該技術(shù)使用一系列的傳感器、計算機、執(zhí)行器等設(shè)備來實現(xiàn)對建筑物結(jié)構(gòu)的實時監(jiān)測和調(diào)節(jié)，從而有效降低地震對建筑物的影響。主動減震臺的特點主要包括以下幾個方面：1.高效的減震能力：主動減震臺采用多種減震技術(shù)，如電液伺服閥、壓電陶瓷等，可以實現(xiàn)高效的減震效果。與傳統(tǒng)的被動減震技術(shù)相比，它可以更加精確地控制建筑物的振動，進而達到更好的減震效果。2.靈活...
可以的。隨著半導(dǎo)體材料技術(shù)的發(fā)展，對硅片的規(guī)格和質(zhì)量也提出更高的要求，適合微細(xì)加工的大直徑硅片在市場的需求比例將日益加大。半導(dǎo)體,芯片,集成電路,設(shè)計,版圖,芯片,制造,工藝目前世界普遍采用先進的切、磨、拋和潔凈封裝工藝，使制片技術(shù)取得明顯進展。新技術(shù)的導(dǎo)入，使SOI等高功能晶片的試制開發(fā)也進入批量生產(chǎn)階段。對此，硅片生產(chǎn)廠家也增加了對300mm硅片的設(shè)備投資，針對設(shè)計規(guī)則的進一步微細(xì)化。利用超聲波清洗技術(shù)，在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內(nèi)往復(fù)掃動，帶動清洗液形成細(xì)微回流...
納米壓印光刻系統(tǒng)是一種利用壓印技術(shù)制備納米結(jié)構(gòu)的方法，其應(yīng)用廣泛，包括在生物領(lǐng)域中。該技術(shù)可以制備具有高度重復(fù)性和精確度的納米結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)可以用于調(diào)控生物分子相互作用、細(xì)胞行為和組織工程等方面。在生物領(lǐng)域中，納米壓印設(shè)備主要應(yīng)用于以下三個方面：1.生物芯片制備：生物芯片是一種基于微流控芯片技術(shù)的實驗平臺，可以對生物樣品進行高通量檢測和分析。該系統(tǒng)可以制備用于生物芯片的微納米結(jié)構(gòu)，例如微孔、微阱、微柱等，這些結(jié)構(gòu)可以用于細(xì)胞定位、蛋白質(zhì)識別、DNA雜交等方面。與傳統(tǒng)的光刻技術(shù)...