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硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)厚度測(cè)量提出多樣化需求，催生出一系列精準(zhǔn)高效的測(cè)量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測(cè)量方法。一、接觸式測(cè)量：機(jī)械與壓電技...
電鏡隔振臺(tái)是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境。本產(chǎn)品可在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測(cè)設(shè)備等提供優(yōu)異的隔振性能。工作原理：安裝有測(cè)量和制造設(shè)備的地板或多或少會(huì)有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對(duì)設(shè)備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺(tái)，以便營(yíng)造適合該設(shè)備的條件。電鏡隔振臺(tái)使用電氣控制，通過對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生...
1.簡(jiǎn)介光學(xué)光刻（Opticallithography），也稱為光學(xué)平版印刷術(shù)或紫外光刻，是在其他處理步驟（例如沉積，蝕刻，摻雜）之前用光刻膠對(duì)掩模和樣品進(jìn)行構(gòu)圖的方法。2.設(shè)備（接近式光刻機(jī)）2.1HMDS及涂膠1)標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)工藝中包括HMDS蒸汽預(yù)處理2)烤箱-批量處理多個(gè)晶圓3)HMDS也可以在手動(dòng)旋轉(zhuǎn)器上旋轉(zhuǎn)涂布4）涂膠機(jī)上進(jìn)行光刻膠的涂布2.2對(duì)準(zhǔn)接觸光刻1)光刻前的對(duì)準(zhǔn)2)對(duì)準(zhǔn)器——處理具有對(duì)準(zhǔn)圖形的晶圓3)EVG610等掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...
電容式位移傳感器是一種常用的測(cè)量裝置，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物體的位置、形態(tài)和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)等。但是，在使用電容式位移傳感器時(shí)，也存在一些需要注意的問題，以下為詳細(xì)介紹：1.靜電干擾：電容式位移傳感器對(duì)靜電干擾比較敏感，在使用時(shí)應(yīng)盡可能減少或避免靜電干擾。特別是在干燥環(huán)境下，靜電干擾更加嚴(yán)重，會(huì)造成誤差的產(chǎn)生。2.靈敏度：本產(chǎn)品的靈敏度較高，因此需要進(jìn)行相應(yīng)的校準(zhǔn)，以確保其精度和可靠性。校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意傳感器與被測(cè)對(duì)象之間的距離、介質(zhì)、溫度等因素的影響。3.溫度漂移：溫度變化會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品本身的參數(shù)...
粗糙度測(cè)定儀的應(yīng)用表面質(zhì)量的特性是零件非常重要的特性之一，在計(jì)量科學(xué)中表面質(zhì)量的檢測(cè)具有重要的地位。以前人們是用標(biāo)準(zhǔn)樣件或樣塊，通過肉眼觀察或用手觸摸，對(duì)表面粗糙度做出定性的綜合評(píng)定。目前粗糙度儀主要涉及的行業(yè)領(lǐng)域有：一、非金屬加工制造業(yè)，隨著科技的進(jìn)步與發(fā)展，越來越多的新型材料應(yīng)用到加工工藝上，如陶瓷、塑料、聚乙烯，等等，現(xiàn)在有些軸承就是用特殊陶瓷材料加工制作的，還有泵閥等是利用聚乙烯材料加工制成的。這些材料質(zhì)地堅(jiān)硬，某些應(yīng)用可以替代金屬材料制作工件，在生產(chǎn)加工過程中也需要...
電容式位移傳感器是一種常用的非接觸式測(cè)量設(shè)備，用于測(cè)量物體的位移、壓力、形變等參數(shù)。它主要由電容傳感器和測(cè)量電路組成。目前，電容式位移傳感器在工業(yè)自動(dòng)化控制、機(jī)械加工、汽車行業(yè)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。它可以測(cè)量各種類型的位移、形變、壓力和負(fù)載等參數(shù)，并且具有高精度、高穩(wěn)定性和長(zhǎng)壽命等特點(diǎn)。例如，在機(jī)械加工中，它可用于檢測(cè)機(jī)床、刀具、工件等物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)和變形情況，從而實(shí)現(xiàn)精密加工。在汽車行業(yè)中，它可以用于測(cè)量剎車踏板的位置，以及輪胎和懸掛系統(tǒng)的位移等參數(shù)。其工作原理：電容式位移...