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硅片厚度測量的多維技術(shù)體系與工藝適配策略
2025-05-07

硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料,其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場景對(duì)厚度測量提出多樣化需求,催生出一系列精準(zhǔn)高效的測量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實(shí)際應(yīng)用場景,系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測量方法。一、接觸式測量:機(jī)械與壓電技...

  • 2023-05-29

    幾家著名的增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)公司聯(lián)合起來,加速消費(fèi)級(jí)AR可穿戴設(shè)備的發(fā)展。SCHOTT,Inkron,EVGroup(EVG)和WaveOptics展示了全球shou個(gè)在玻璃基板上制成的折射率為1.9的波導(dǎo),以及相匹配的納米結(jié)構(gòu)聚合物——在300毫米晶圓平臺(tái)上生產(chǎn),且可進(jìn)行批量生產(chǎn)。SCHOTT是國際領(lǐng)仙的科技集團(tuán)和光學(xué)玻璃的發(fā)明者,現(xiàn)推出SCHOTTRealView™高折射率玻璃晶圓,其折射率為1.9,直徑為300mm。這些晶圓是批量生產(chǎn)下一代AR波導(dǎo)的基礎(chǔ),不僅...

  • 2023-05-29

    面向MEMS、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場的晶圓鍵合與光刻設(shè)備(含納米壓印設(shè)備)的領(lǐng)仙供應(yīng)商EVG宣布,與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的世界領(lǐng)仙技術(shù)集團(tuán)SCHOTT合作,證明300毫米(12英寸)納米壓印光刻技術(shù)(NIL)在下一代增強(qiáng)/混合現(xiàn)實(shí)(AR/MR)頭戴設(shè)備耳機(jī)的波導(dǎo)/光導(dǎo)制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大批量圖案化已準(zhǔn)備就緒。此次合作涉及EVG專有的SmartNIL®工藝和SCHOTTRealView™高折射率玻璃晶圓,將在EVG位于奧地利總部的NIL...

  • 2023-05-25

    在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中,許多儀器儀表需要在高精度和高穩(wěn)定性的環(huán)境中進(jìn)行操作。然而,地面震動(dòng)、機(jī)械振動(dòng)等噪聲干擾經(jīng)常會(huì)影響到它們的運(yùn)行,導(dǎo)致計(jì)量誤差或者測量不準(zhǔn)確。為了解決這個(gè)問題,科學(xué)家和工程師們?cè)O(shè)計(jì)了各種各樣的振動(dòng)控制設(shè)備,其中之一就是HerzAVI系列主動(dòng)式防震臺(tái)。該防震臺(tái)是一種高度自適應(yīng)的振動(dòng)控制系統(tǒng),專門用于保護(hù)儀器儀表免受機(jī)械振動(dòng)和地面震動(dòng)的干擾。該設(shè)備采用了先進(jìn)的反饋控制技術(shù),能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測和分析環(huán)境中的振動(dòng)噪聲,并通過電液伺服系統(tǒng)調(diào)節(jié)支撐平臺(tái)的高度和位置,以實(shí)現(xiàn)有...

  • 2023-05-25

    首CHUANG的解決方案將SwissLithoNanoFrazo系統(tǒng)的高分辨率和3D打印功能與EVG的SmartNIL®技術(shù)的高產(chǎn)量和成本效益相結(jié)合面向MEMS、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場的晶圓鍵合和光刻設(shè)備的領(lǐng)仙供應(yīng)商EVG與新型納米光刻技術(shù)制造商SwissLithoAG宣布推出聯(lián)合解決方案,可生產(chǎn)最小到單納米級(jí)的3D結(jié)構(gòu)。這一方案在歐盟第七框架計(jì)劃資助的“超越CMOS器件的單納米制造(SNM)”項(xiàng)目中進(jìn)行了shouci演示,涉及SwissLitho的新型NanoFraz...

  • 2023-05-25

    在過去的幾十年中,生物技術(shù)器件的小型化極大地改善了臨床診斷,藥物研究和分析化學(xué)?,F(xiàn)代生物技術(shù)器件——如用于診斷、細(xì)胞分析和藥物發(fā)現(xiàn)的生物醫(yī)學(xué)MEMS(bioMEMS)——通常是基于芯片的,依賴于微米級(jí)和納米級(jí)生物物質(zhì)的密切相互作用。根據(jù)市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的報(bào)告,越來越多的醫(yī)療保健應(yīng)用正在使用bioMEMS組件,而bioMEMS市場預(yù)計(jì)將從2015年的27億美元增長至2021年的76億美元,增長近三倍。到2021年,微流控器件將占生物醫(yī)學(xué)M...

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